製品ラインナップ 製品一覧 ITOターゲット 独自のスラリー形成技術(平板形-MMF法)(円筒形-CIP法)により、様々な形状・サイズの高密度化を実現。使用時のノジュール、パーティクルの低減を行います。 IGZOターゲット 中小型FPDパネルの高精細、低消費電力を実現する酸化物半導体用途IGZO。ノジュール、パーティクル等の低減に効果のある大型品や、様々な組成のターゲットが提供可能です。 円筒形ターゲット プレーナータイプ(平板)が一般的でしたが、ロータリータイプ(円筒形)のターゲットを採用可能とし、逸早く量産化・工程改善を行います。 その他製品 太陽電池、建材、半導体関連の用途など、ニーズにあったターゲットの開発・製造を行っています。 HOME 製品ラインナップ